预抽真空管式炉的使用需严格遵循操作规范，以确保实验安全与结果准确性。以下是详细的使用步骤及注意事项：

一、使用前准备

设备检查：

炉体外观：检查炉门密封条是否完好，无破损或老化，确保真空密封性能。

真空系统：确认机械泵油位在标线以上（通常位于油窗1/2~2/3处），若油质浑浊或含水需更换新油。

气体管路：检查惰性气体（如氩气、氮气）或还原性气体（如氢气）的管路连接是否牢固，无泄漏。

电气系统：确认电源线无破损，接地良好，避免触电风险。

样品准备：

样品清洁：去除样品表面油污、氧化物等杂质，防止污染炉膛。

样品放置：将样品置于石英舟或刚玉舟中，确保样品分布均匀，避免局部过热。

炉管清洁：用酒精棉擦拭炉管内壁，去除残留物，防止高温下挥发污染样品。

参数设置：

温度程序：根据材料特性设置升温速率（建议≤10℃/min）、保温时间及降温速率（建议≤15℃/min）。

真空度：根据工艺需求选择真空度（如10?3 Pa至10?? Pa），高纯度材料制备需更高真空度。

气体流量：若需通入惰性气体，设置流量计参数（如50-200 mL/min），确保气氛均匀。

二、操作步骤

装样与密封：

打开炉门，将载有样品的舟皿缓慢推入炉管中心位置，确保样品处于均匀温区。

关闭炉门，旋转锁紧手柄至密封，检查炉门与炉体间隙是否均匀。

抽真空：

开启机械泵，缓慢打开真空阀，观察真空计读数下降至目标值（如10?3 Pa）。

若需更高真空度，关闭真空阀，启动扩散泵或分子泵，继续抽真空至10?? Pa。

注意：抽真空过程中需监控泵油温度，避免过热导致性能下降。

通入保护气体（可选）：

若需惰性气体保护，先关闭真空阀，打开气体总阀，调节流量计至设定值。

重复“抽真空-通气体"2-3次，以置换炉内空气，减少氧化风险。

升温与保温：

启动加热程序，观察温度曲线是否按设定上升，若偏差过大需暂停检查温控系统。

保温阶段保持炉内气氛稳定，避免频繁开关炉门导致温度波动。

降温与取样：

程序结束后，自然降温至200℃以下（或按工艺要求）再关闭加热电源。

若需快速降温，可通入少量惰性气体加速冷却，但需控制流量防止样品开裂。

待炉温降至安全范围（通常≤50℃），打开炉门取出样品，避免高温烫伤。