一、设备定义与核心功能

预抽真空管式炉是一种在真空或惰性气体保护环境下进行高温处理的专用设备，其核心功能包括：

真空环境模拟：通过机械泵、扩散泵或分子泵将炉内气压降至10?3 Pa至10?? Pa，排除氧气等活性气体，防止材料氧化、脱碳或发生化学反应。

气氛控制：支持惰性气体（如氩气、氮气）或还原性气体（如氢气）的通入，实现特定工艺需求（如CVD沉积、还原反应）。

高温处理：工作温度范围覆盖100℃至1800℃，适用于金属热处理、陶瓷烧结、半导体材料制备等场景。

二、技术原理与结构组成

热传递机制：

依赖热辐射传递热量，加热元件（如硅钼棒、电阻丝）通电后产生红外辐射，直接作用于炉管内物料。

真空环境减少气体分子对热传递的干扰，提升加热效率并确保温场均匀性。

关键部件：

炉体：双层壳体结构，内层采用高温合金或陶瓷纤维材料，外层隔热，表面温度低，操作安全。

加热元件：硅钼棒（高温场景）或电阻丝（中低温场景），寿命长且热稳定性高。

真空系统：由机械泵、扩散泵、真空计组成，实现快速抽真空与气压精准控制。

控制系统：PID温控系统支持多段程序控温（如40段），温度精度达±1℃，配备超温保护、断电联锁等安全机制。

炉管：模块化设计，兼容石英管、刚玉管等耐高温材料，规格覆盖Φ40-100mm，便于快速更换。